FC-300
FOUP Cleaner
- 專為 6/8吋 Cassette/Box, 12吋 FOUP/FOSB設計
- 清洗腔採優質PVC焊接
- 使用高壓DI水+潔淨XCDA(N2)清洗
- 高速離心脫水+IR紅外燈管烘乾
功能說明
支援FOUP型號:
- Semi12"FOUP Shinetsu 300EX
- Semi12"FOUP Entegris F300 Auto pod
- Semi12"FOSB KTL-3004A Rev2
- Semi8"Cassette Entegris PA192-80MN
- Semi8"Cassette PAK ePB-8/200-25-R-2
應用範圍
本設備能大量處理晶片盒和FOUP/FOSB 內外側清洗,大大提高 FOUP/FOSB 潔淨度
