AST-E300
單晶圓蝕刻機
產品說明
- 單晶圓濕蝕刻 Spin Processor，適用於 UBM、RDL 、BGBM及各種金屬層的刻蝕，清洗和去膠等工藝流程。
- 腔體特殊設計，保證化學品回收率，並且一個腔體完成多種液體的蝕刻工藝
- 擺臂及噴蝕裝置的精確控制，蝕刻藥水噴灑的均勻性。
- 單晶圓濕蝕刻 Spin Processor，適用於 UBM、RDL 、BGBM及各種金屬層的刻蝕，清洗和去膠等工藝流程。
- 腔體特殊設計，保證化學品回收率，並且一個腔體完成多種液體的蝕刻工藝
- 擺臂及噴蝕裝置的精確控制，蝕刻藥水噴灑的均勻性。