產品介紹

Metal lift-off去光阻機
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半自動複合式光阻剝離機

半自動複合式光阻剝離機

產品說明
• 系統分為槽式製程區及旋轉腔體高壓製程區
• 可實施去光阻,及光罩清洗製程
應用範圍
去除8”晶圓及9”光罩製程中殘餘之光阻
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