LT-MS-300
桌上型上光阻机
- 旋转光阻涂布机，适用12”晶圆凸块制程。
- 手动置片、开/关盖、滴液(dispense)。
- 4吋触控屏幕，Recipe控制Chuck旋转速度及时间。
- 机体小巧420(W)*500(D)*454(H)，可置于工作台上操作，节省空间。
规格说明
- 桌上型旋转光阻涂布机
- 适用于12” Wafer
- 220V，1相，5A
- Spin speed 3000 rpm (Max.)
- 4吋触控屏幕，PLC控制
- 附真空泵（<70KPa），用于Chuck吸附
- Recipe: 20 Step 20EA
应用范围
凸块制程上光阻机(PR)
