机台附属治具

针对制程中避免手持晶圆产生污染之需求而设计
芯片夹系以下伸、上提方式，使晶圆自然置于沟槽内，对于晶圆并无施加外力，且两支沟槽槽体经设计自然落于晶圆圆周，上端辅以夹具以极小面积轻触晶圆 ...