MWT-001
芯片夹
- 针对制程中避免手持晶圆产生污染之需求而设计
- 芯片夹系以下伸、上提方式，使晶圆自然置于沟槽内，对于晶圆并无施加外力，且两支沟槽槽体经设计自然落于晶圆圆周，上端辅以夹具以极小面积轻触晶圆圆周，可免除人员操作疏忽而致晶圆掉落之风险
- 芯片夹本体以SUS 304制成，不易产生微粒污染及变形，与晶圆接触面则采用塑料材质，不易刮伤晶圆
- 可免除目前市售芯片夹直接夹持晶圆表面，或夹持晶圆周边，易对晶圆产生污染、毁损、刮伤，或因夹持力量过小而使晶圆跌落损害之机率
应用范围
可客制化制作，适用于各尺寸晶圆
