产品介绍
半自动复合式光阻剥离机
系统分为槽式制程区及旋转腔体高压制程区
可实施去光阻,及光罩清洗制程
可实施去光阻,及光罩清洗制程
湿式化学工作台
系统实施湿式制程,配置蚀刻槽、QDR槽、剥离槽等
各槽制程系由可程序配方(Recipe)控制
各槽制程系由可程序配方(Recipe)控制
在线喷淋清洗机
在线通过式清洗设备,适用于半导体封装产品以及PCBA组装件的助焊剂清洗。
设备具有多种选项,可满足客制化的需要。
设备具有多种选项,可满足客制化的需要。
在线喷淋清洗机
在线通过式清洗设备,适用于半导体封装产品以及PCBA组装件的助焊剂清洗。
设备具有多种选项,可满足客制化的需要。
设备具有多种选项,可满足客制化的需要。
晶圆旋转光阻涂布机
晶圆全自动上光阻机,适用 8”晶圆凸块制程,分为晶圆传送、旋转涂布及烘烤区。
可提供二种光阻不同膜厚制程。光阻利用高压瓶或精准微量 pump 供应,输出光阻量精确可达 0.1 CC。 ...
可提供二种光阻不同膜厚制程。光阻利用高压瓶或精准微量 pump 供应,输出光阻量精确可达 0.1 CC。 ...
全自动单晶圆超音波喷涂机
本机是全自动化的超音波喷涂机台,可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等一贯化自动作业。
智能化的控制系统设计,不仅可提供友善的图形化操作接口,更可依照制程需求自由规划生产流程。 ...
智能化的控制系统设计,不仅可提供友善的图形化操作接口,更可依照制程需求自由规划生产流程。 ...