新产品介绍
半自动复合式光阻剥离机
系统分为槽式制程区及旋转腔体高压制程区
可实施去光阻，及光罩清洗制程
可实施去光阻，及光罩清洗制程
全自动单晶圆超音波喷涂机
本机是全自动化的超音波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等一贯化自动作业。
智能化的控制系统设计，不仅可提供友善的图形化操作接口，更可依照制程需求自由规划生产流程。 ...
智能化的控制系统设计，不仅可提供友善的图形化操作接口，更可依照制程需求自由规划生产流程。 ...
