FC-300
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半自动晶圆盒清洗机
- 专为 6/8吋 Cassette/Box, 12吋 FOUP/FOSB设计
- 清洗腔采优质PVC焊接
- 使用高压DI水+洁净XCDA(N2)清洗
- 高速离心脱水+IR红外灯管烘干
功能说明
支援FOUP型号:
- Semi12"FOUP Shinetsu 300EX
- Semi12"FOUP Entegris F300 Auto pod
- Semi12"FOSB KTL-3004A Rev2
- Semi8"Cassette Entegris PA192-80MN
- Semi8"Cassette PAK ePB-8/200-25-R-2
应用范围
本设备能大量处理晶片盒和FOUP/FOSB 内外侧清洗,大大提高 FOUP/FOSB 洁净度
