Metal lift-off去光阻机

湿式光阻去除系统，适用于6寸、8寸、12寸厚膜光阻的去除，可依产能需求客制2个腔体或4个腔体。在旋转 spin processor工艺的基础上结合旋转浸泡喷流工艺，可实现极难的厚膜 ...

系统分为槽式制程区及旋转腔体高压制程区
可实施去光阻，及光罩清洗制程