AST-E02-SP
全自动单晶圆超音波喷涂机
- 本机是全自动化的超音波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等一贯化自动作业。
- 智能化的控制系统设计，不仅可提供友善的图形化操作接口，更可依照制程需求自由规划生产流程。
- 超音波喷涂是利用压电材料将电能转换为机械能，以震荡的方式来雾化流体，可以得到均匀且微细的涂布液滴，也能有效提高材料利用率。
- 超音波喷头是采用大口径的供料流道设计，能有效避免管路堵塞的发生，减少设备停机维修时间，提高设备使用的嫁动率。
- 不同于Spin Coater的旋转扩散涂布，超音波喷涂是以温和且微细的液滴从基材正上方开始沉积涂布，阶梯覆盖率的表现更为优越。
- 利用转速跟喷头移动速度做配合，进行连续性的旋转喷涂，可有效提高产能，更可消除一般设备来回喷涂时，因路径不同所造成的膜厚落差。
- 腔体结构导入流场数值模拟规划，用以进行优化流道几何设计，避免粒子回流污染涂布腔体。
规格说明
- 超音波驱动器可产生120KHz的震荡频率，能将液体雾化成为18µm的液滴。
- Micro flow 多活塞供料系统不仅可连续供料，且可提供1µl/min~25ml/min之间的流量，可满足各式的制程需求。
- 超音波喷头是由伺服马达所带动，移动速度最高可达到200mm/sec，且可依照制程规划实时改变速度。
- 独特的多孔隙陶瓷加热平台设计，最高可加热到60度，能够同时进行真空吸附及加热晶圆。
- 独立的冷热板槽，适合对涂布后的晶圆进行Soft bake 。
应用范围
- 光阻喷涂
- 助焊剂喷涂
- LED荧光粉喷涂
- 太阳能涂料喷涂
