化学蚀刻机

单晶圆湿蚀刻 Spin Processor，适用于 UBM、RDL 、BGBM及各种金属层的刻蚀，清洗和去胶等工艺流程。
腔体特殊设计，保证化学品回收率，并且一个腔体完成多种液体的蚀 ...