上光阻机(Spin)

晶圆全自动上光阻机，适用 8”晶圆凸块制程，分为晶圆传送、旋转涂布及烘烤区。
可提供二种光阻不同膜厚制程。光阻利用高压瓶或精准微量 pump 供应，输出光阻量精确可达 0.1 CC。 ...

本机是全自动化的超音波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等一贯化自动作业。
智能化的控制系统设计，不仅可提供友善的图形化操作接口，更可依照制程需求自由规划生产流程。 ...