半自动复合式光阻剥离机

  • 系统分为槽式制程区及旋转腔体高压制程区
  • 可实施去光阻,及光罩清洗制程

应用范围
去除8”晶圆及9”光罩制程中残余之光阻

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半自动复合式光阻剥离机
系统分为槽式制程区及旋转腔体高压制程区 可实施去光阻,及光罩清洗制程
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